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基片表面力负载对SAW谐振器的特性影响分析
论文摘要声表面波在压电基片表面传播,当外界物理量(如温度、压力、磁场、电场、气体等)引起基片的物理特性变化时,将引起声表面波传播特性(如波速、损耗等)发生改变。为了研究基片表面...