表面微构造硅论文

微构造硅表面金属薄膜的光吸收性质研究
论文摘要在一定气体氛围内用超短激光脉冲照射硅表面,可在硅表面产生准规则排列的微米量级尖峰结构,形成具有强吸收的表面微构造硅。研究表明用飞秒激光脉冲刻蚀硅表面所形成的微结构与激光...