表面微加工工艺论文

论文题目:基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价研究论文类型:博士论文论文专业:计算机科学与技术作者:李建华导师:高曙明关键词:计算机辅助设计,实体模型,工艺特征,工艺...