表面微机械加工工艺论文

开关型MEMS移相器的建模与仿真研究
论文摘要毫米波MEMS器件由于其具有损耗低、体积小、重量轻及与其它加工工艺相兼容等特点,已经被广泛地应用在相控阵雷达、微波通信、卫星通信以及微波测量等领域。伴随着分布式MEMS...