表面微机械技术论文

基于MOEMS技术的光学调制器研究
论文摘要MEMS和光学的结合（MOEMS）给传统光学器件的设计和制造带来了全新的思路,它具有性能灵活、低成本、尺寸小和易于批量生产等优点。本课题对基于MOEMS技术的光学调制器...