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脉冲激光在硅表面制备微纳结构的研究
论文摘要在自然界中,很多生物体表的有序微纳结构使其具有独特的性能,如结构色、超疏水和超黏附等,引起了人们很大的兴趣。硅是一种重要的半导体材料,表面具有微纳结构的硅材料在红外探测...