闭场非平衡磁控溅射论文

磁控溅射制备(CrxAl1-x)N涂层及其本征、力学与高温氧化性能研究
论文摘要为了延长燃气轮机叶片的使用寿命并提高其使用性能,利用闭场非平衡磁控溅射技术,通过调整铝靶功率,在2Cr10MoVNbN不锈钢基体上制备了不同铝含量的(CrxAl1-x)...