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基于Twyman-Green原理的波像差测试方法与测试设备研究
论文摘要新形势下,光学器件对检测设备的要求越来越高,不仅要有效保证检测设备的测试精度,还要提高其测试效率和控制生产成本,以便广泛应用于科研活动之中。为满足在实验室及光学车间环境...
基于双频干涉的直线度及其位置测量方法研究
论文摘要直线度误差作为重要的几何公差之一,直接影响到仪器或机器的质量、精度及性能,直线度的测量在精密仪器制造与检测、大型仪器的安装与定位、军工产品制造等领域中有着广泛的应用。现...