闭合场磁控溅射离子镀论文

镁合金表面闭合场磁控溅射离子镀与渗氮复合改性研究
论文摘要本文针对AZ91D镁合金表面耐磨、耐腐蚀性能差等问题,首次尝试采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀膜技术在镁合金表面施镀Al/Ti多层膜,并结合等离子体渗氮对其进行表面改性。...