闭合场非平衡磁控溅射论文

类金刚石碳膜制备工艺及掺杂性能研究
论文摘要本文基于产业化应用和改善类金刚石膜与基体结合力为目的,在大型工业用等离子体—离子束增强沉积系统中,获得了DLC膜和梯度复合DLC膜。采用了闭合场非平衡磁控溅射和90°弯...