闭环力反馈论文

振动环型MEMS陀螺仪的研究与相关设计
论文摘要陀螺仪是一种用来测量旋转物体角速率的惯性传感器。微机电系统（MEMS）技术的日益成熟给惯性传感器领域带来了革命性的发展。MEMS陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、抗过载...