并行激光直写论文

论文摘要激光直写是制作衍射微结构光学元件的重要技术手段之一。随着微结构衍射光学大口径以及阵列化的需求发展,对激光直写写入效率和精度提出了更高的要求。传统激光直写技术采用单点曝光...