波导型探测器论文

光波导GeSi光电探测器的研究
论文摘要Si基光电子集成采用成熟价廉的微电子加工工艺，将光学器件与多种功能的微电子电路集成，是实现光通信普及发展的有效途径。Si基OEIC（OptoelectronicInte...