波片测量论文

同步移相干涉测量的抗振技术研究
论文摘要同步移相干涉测量系统,由于在瞬间同时采集三幅以上的移相干涉图,振动对这些干涉图的影响是相同的,因此具有良好的抗振性能。本文研究了三种同步移相干涉测量方案,包括1)棱镜分...