部分绝缘键合结构论文

部分绝缘键合SOI新结构及应用基础研究
论文摘要基于SOI相关基础理论和技术实践，源自光机电新器件开发需求，在综合Si良好导热导电与SOI优良隔离特性基础上，本文提出了一种兼具硅和SOI优势的新型部分绝缘键合SOI结...