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适合SAW器件的BN/diamond多层膜的制备与研究
论文摘要声表面波(Surfaceacousticwave,SAW)技术是一种新兴的高新技术,它是声学、电子学、光学相交叉的一门边缘学科。氮化硼((BN)是一种性能优异,极具发展...