不同厚度硅片论文

不同厚度及铂镀层硅片激光弯曲试验研究
论文摘要在微电子/光电子技术的发展过程中,微制造领域器件已经不仅仅满足在平面尺寸的制造,同时增加了对复杂曲面、特别是翘曲微型梁等的需求。随着科学技术的发展及市场对不同厚度和含镀...