材料表征技术论文

4H-SiC同质外延的表征及深能级分析研究
论文摘要SiC器件和其它半导体器件一样,材料的质量对于SiC器件的制备和性能具有非常重要的意义。高质量的SiC单晶是制备高性能SiC器件的基础,有利于SiC器件研制和进一步推广...