材料去除率论文

论文摘要化学机械抛光（CMP）作为集成电路制造的核心技术被广泛应用于集成电路制造过程中硅片表面的局部和全局平坦化加工。而在集成电路制造中,所应用硅片的尺寸不断在增大,而器件的尺...

论文摘要目前航空航天工业中大量使用高强度高硬度的钛合金、镍基耐高温合金等材料,这些材料普遍存在难加工的问题,在进行大体积材料去除时刀具损耗严重,加工效率低且成本高。如果能够使电...

论文摘要磁性复合磨粒化学机械抛光（MagneticCompositeAbrasiveChemicalMechanicalPolishing,MCA-CMP）是一种新型化学机械抛...

论文摘要放电介质的热学、机械和电学性质对材料去除率、加工表面质量、环境影响等均至关重要。传统电火花加工采用油类作为放电介质,加工稳定且效率高,但也存在一些缺点:高温分解出的气体...

论文摘要单晶蓝宝石具有良好的热特性、电气特性、透光性、耐磨性和较高的硬度,所以作为发光二极管(LED)、蓝光激光器(LD)的基片广泛应用于大屏幕彩显、特种照明、交通信号、光通讯...

论文摘要电解电火花复合加工中工具电极的损耗是不可避免的,这直接影响了加工的精度。随着材料科学的发展,越来越多种类的元素被填加进传统电极材料,以提高工具电极的抗损耗特性。陶瓷颗粒...

论文摘要曲面光学元件在光学工程的应用中有很多优点,可以减少光学系统的复杂性、尺寸以及重量。为了获得高精密曲面光学表面,人们发明了多种抛光工艺方法。然而现有的抛光方法存在的缺欠,...

论文摘要碲锌镉（CZT）晶体是一种新型三元化合物半导体材料,其电阻率高、原子序数大、禁带宽度大,且随锌含量的不同,禁带宽度从1.4eV（近红外）至2.26eV（绿光）连续变化。...

论文摘要蓝宝石是一种集优良的光学性能、物理性能和化学性能于一体的多功能氧化物晶体。单晶蓝宝石具有很好的热特性、耐磨性、电气特性和介电特性,其硬度仅次于金刚石,达到莫氏9级,在高...

论文摘要本论文对磁力研磨光整加工技术进行了理论和实验研究,尤其对铁磁性材料的内表面磁力研磨抛光技术进行了重点研究和实验,并设计了适合内表面磁力研磨的磁极和机床配套零件。全文所做...

论文摘要随着超大规模集成电路（ULSI）的发展,芯片的集成度越来越高,因此,对于其基底材料硅片的加工要求也越来越高,不仅要求获得纳米级面型精度和亚纳米级表面粗糙度,而且还要保证...

论文摘要超声波加工是目前加工玻璃、钻石、工程陶瓷等硬度高、脆性大材料的一种有效的方法。传统超声波加工主要用于打孔和拷贝加工，虽然可以加工复杂型腔零件，但需要制作与被加工型腔凹凸...

论文摘要由于工程陶瓷材料具有的优良物理、化学性能,使它在一些特殊领域如高温、腐蚀以及易磨损等场所有着诱人的应用前景。但是陶瓷材料的高脆性、高硬度使对它的加工非常困难,因而阻碍了...

论文摘要旋转超声钻削是一种先进陶瓷材料孔加工的高效加工方法。它是一种集普通超声钻削和磨削加工为一体的复合加工方法。相对于普通超声钻削，旋转超声钻削无论在降低加工成本还是提高加工...

论文摘要超声波加工适合于加工硬脆材料,可以加工复杂的三维型腔,而传统的超声波加工需要制作与被加工型腔凸凹相反的工具,所以工具制作非常复杂,工具的加工成本高、周期长而且存在加工过...

论文题目:硅片超精密磨削表面质量和材料去除率的研究论文类型:硕士论文论文专业:机械设计及理论作者:田业冰导师:邢玉生,康仁科关键词:硅片,运动轨迹,磨削纹理,表面质量,材料去除...

论文题目:螺旋锥齿轮研磨加工的理论与实验研究论文类型:博士论文论文专业:机械制造及其自动化作者:魏冰阳导师:方宗德,周彦伟关键词:准双曲面齿轮,研齿,超声加工,轮齿接触分析,振...

本文主要研究内容作者王健杰,李军,黄俊阳,明舜,朱永伟,左敦稳（2019）在《球形固结磨料磨头研磨TC4钛合金的工艺探索》一文中研究指出：TC4钛合金是典型的难加工材料,在传统...

本文主要研究内容作者翟文杰,翟权（2019）在《碳化硅超声-电化学机械抛光试验研究》一文中研究指出：为探究超硬脆碳化硅(SiC)材料的高效研抛方法,分别应用铸铁抛光盘、聚氨酯抛...