参比法测量论文

LED式固态薄膜厚度在线测量系统研究
论文摘要薄膜厚度的在线检测对于薄膜生产企业是一个亟待解决的问题,因为薄膜的厚度是保证薄膜质量的一个重要指标。本文通过传统测厚法的分析,结合红外光谱分析技术,提出了一种新的测量薄...