残留误差论文

光学镜面离子束修形理论与工艺研究
论文摘要随着光学性能要求的不断提高,武器装备、太空观测、激光核聚变、极紫外光刻等领域对光学元件的精度要求越来越高,且数量要求越来越大,使光学元件的加工面临严峻的挑战。目前的计算...