槽深论文
衍射光栅的光刻工艺研究
论文摘要衍射光栅是一种重要的光学元件,在光谱测量、光计算、光信息处理等诸多领域有着广泛的应用。随着光栅应用的不断深入,对其性能要求也逐渐提高,而增大光栅的面积和衍射效率是提高光...抗横移板式橡胶支座的数值模拟研究
论文摘要本文在现有试验研究的基础上,采用数值模拟方法,深入研究了异型钢板折起坡度、折起长度和槽深对支座抗横移性能的影响以及支座内部剪应力的变化规律。考虑橡胶层与钢板间剥离强度要...介质膜光栅:光刻胶掩模占宽比和离子束刻蚀槽深的监控
论文题目:介质膜光栅:光刻胶掩模占宽比和离子束刻蚀槽深的监控论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:林华导师:李立峰关键词:光栅,实时监控技术,占宽比,槽深,离子束刻蚀文献来...