侧壁刻蚀及后处理论文

论文题目:纵向多面栅MOSFET的器件设计与技术研究论文类型:硕士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:方圆导师:李伟华关键词:多面栅,纵向多面栅,等电位近似,体反型,侧壁刻...