测辐射热计论文

论文摘要近年来,采用微机械非制冷红外探测器实现热成像是MEMS领域和光学成像领域的研究热点。本文对实验室测辐射热计器件的首次制备经历进行研究,分析了器件设计及工艺制备中存在的问...

论文摘要非制冷微测辐射热计阵列系统基于MEMS技术而得到了迅猛的发展,较之于原始的制冷型红外测辐射热计,非制冷型探测器在携带性、制造和维护成本等方面存在巨大优势。本实验室多年来...