掺氟硅玻璃论文

铜互连工艺中FSG薄膜质量控制与优化
论文摘要随着时代的发展,集成电路的应用越来越广泛地渗透到大众生活的方方面面中。伴随应用领域的扩展,人们对集成电路的性能,功耗也不断提出更高的要求。因为有这样的市场需求的推动,集...