场发射阵列论文

应用于MIM-FEA的薄膜制备及其表征技术
论文摘要本文重点论述了应用于金属-绝缘-金属结构的场发射阵列（MIM-FEA）的薄膜制备及其表征技术。采用磁控溅射技术制备Cr、Cu、SiO2和Al2O3薄膜,并利用扫描电镜、...