掺硅类金刚石薄膜论文

掺硅类金刚石薄膜的制备、结构及光学性质
论文摘要本文采用直流磁控溅射方法,以普通光学玻璃和单晶硅为基底,Ar为工作气体和石墨以及硅片为靶材,制备无氢类金刚石薄膜和掺硅类金刚石薄膜。采用紫外-可见光光谱仪和荧光光谱仪对...