常压等离子体化学气相沉积论文

常压低温等离子体沉积多孔硅基纳米颗粒薄膜的过程研究
论文摘要常压等离子体增强化学气相沉积（Plasma-enhancedchemicalvapordeposition）是使原料气体在电场中成为等离子体状态,产生化学上非常活泼的激...