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基于并联机构的平面3自由度微动工作台的研究
论文摘要本文结合一种宏观平面3-RRR并联机器人的研制,建立了全柔性微动工作台的模型。设计该柔性机构时,通过采用免装配、无间隙和无摩擦的柔性铰链代替实际的转动副以及压电陶瓷驱动...