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Sol-Gel法制备掺铝氧化锌薄膜及其性能研究
论文摘要掺铝氧化锌(ZnO:Al)薄膜是一种重要的宽禁带半导体材料,具有可见光透过率高、紫外光吸收的特点。ZnO:Al薄膜的紫外吸收边可随掺铝浓度增加而蓝移,此性质在短波光电器...