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磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜及其特性研究
论文摘要掺铝氧化锌(AZO)薄膜是一种性能优良的透明导电薄膜,它的优点主要有:在可见光范围内有较高的透射率,较低的电阻率,无毒性,易刻蚀,化学性能稳定,材料来源丰富、价格便宜等...
溶胶—凝胶法制备掺铝氧化锌薄膜及其光电性能研究
论文摘要氧化锌为直接宽带隙II-VI族化合物半导体材料,室温下禁带宽度3.37eV,具有优良的可见光透过性;掺入Al施主,能有效改善其电学性能。因而,掺铝氧化锌(AZO)能作为...