掺钼氧化锌论文

直流反应磁控溅射法制备新型透明导电ZnO：Mo薄膜的研究
论文摘要采用直流磁控反应溅射技术由金属镶嵌Zn/Mo靶制备高价态差掺钼氧化锌ZnO:Mo（zMO）透明导电薄膜。研究了钼掺杂量和基片温度等参数对ZMO薄膜结构和光电性能的影响。...