产能跟踪系统论文

基于半导体制造业的生产设备产能跟踪系统
论文摘要半导体制造投资巨大,尤其是设备成本极其昂贵,因此,如何提高设备利用率一直是企业关注的焦点。国际半导体设备与材料组织在其制度的SEMI标准中提供了一种很好的计算设备效率的...