掺硼论文

热丝化学气相沉积制备大面积金刚石薄膜工艺的研究
论文摘要由于金刚石薄膜有许多特殊而优越的性质,长期以来人类一直对它进行各种性质研究,以期充分利用。近年来,化学气相沉积金刚石的研究取得了很大进展,在某些方面已达到了实用阶段。同...