掺氧化铟论文

ITO玻璃衬底上PLZT铁电薄膜的制备与性能研究
论文摘要近年来,PLZT铁电薄膜制备方法与应用研究引人注目。早期制备陶瓷薄膜主要采用真空镀膜技术如等离子溅射法,但真空技术由于化学计量比较难以控制并且制备参数复杂,影响了成膜质...