超薄铁电薄膜论文

超薄铁电薄膜的制备及隧穿机理研究
论文摘要超薄铁电薄膜由于具有量子隧穿效应和电阻反转效应,可用于制备铁电存储器件,广泛应用于军事、卫星通信、汽车设计等领域,是当前存储器领域研究的热点。本文采用磁控溅射法制备超薄...