超薄型温度传感器论文

激光微加工微结构体及超薄型Pt膜温度传感器的研究
论文摘要随着MEMS技术的飞速发展,具有高灵敏度、高稳定性、可靠性好、在微小空间具有检测能力的微传感器及相关微结构体已成为当今微电子技术领域中的研究热点。本文采用激光微加工技术...