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YBa2Cu3O7-δ和MgB2超导薄膜的制备及微观结构表征
论文摘要本论文研究目的是为制备电子学器件用YBCO薄膜和铁电/YBCO双层膜提供实验参考,并提出一种用热丝化学气相沉积(HFCVD)原位生长MgB2超导薄膜的方法。采用流动氧气...