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全量程超高压力薄膜传感器研究
论文题目:全量程超高压力薄膜传感器研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:滕林导师:杨邦朝关键词:锰铜,薄膜传感器,超高压力测试,后置式,在位式文献来源:电子...