超光滑表面论文

大气等离子体抛光系统设计及实验研究
论文摘要随着现代光学及微电子学的发展,对表面质量的要求越来越苛刻,超光滑表面的加工也日趋受到各相关领域的关注。作为光学元件,为获得高反射率特别强调表面的低散射率或极低粗糙度值;...
流体二维振动超光滑表面加工振动场分析与实验研究
论文摘要随着光学与微电子学等技术的不断发展,对其中关键零件表面精度的要求越来越高。近年来集成电路的规模越来越大,其所用芯片的特征尺寸越来越小,为保证后续加工的质量,对表面精度的...