超精密论文

DJP-9BC超精密双面抛光机结构设计和实验研究
论文摘要随着微电子技术和信息技术的飞速发展,对各种光电子元件表面加工精度的要求也越来越高,如何利用超精密抛光技术高效地获得光电子晶片超平滑无损伤表面已成为加工技术的一个热点研究...
三维微细电火花加工平台的设计与实验研究
论文摘要随着科学技术的发展,人类在制造领域中采用的尺度将由微米迈向纳米。超精密加工技术将是未来十到二十年内制造领域中最重要的进展之一,其工程应用既多样又重要。超精密加工技术已成...
陈冉：超精密车床几何误差建模、分析及补偿加工研究论文
本文主要研究内容作者陈冉（2019）在《超精密车床几何误差建模、分析及补偿加工研究》一文中研究指出：目前,超精密加工技术在光学器件制造、精密装备制造、国防等众多领域都起着重要作...