超精密磨削论文

论文摘要磨削加工是加工硅片的一个重要的进程。当前,IC产业发展要求硅片质量高和生产成本低。这对用于硅片加工的砂轮自身修整能力、表面低损伤、稳定性、耐磨性和经济性等方面提出了一个...

论文摘要微小光学元件的制造技术主要有超精密机械加工和模压成型两种，其中，模压成型作为一种面型复制技术，是一种适合批量生产的低成本、高效率技术。模压所用的模具需要光整加工，以进一...

论文题目:硅片超精密磨削表面质量和材料去除率的研究论文类型:硕士论文论文专业:机械设计及理论作者:田业冰导师:邢玉生,康仁科关键词:硅片,运动轨迹,磨削纹理,表面质量,材料去除...

论文题目:纳米级微定位平台的设计及实验研究论文类型:硕士论文论文专业:机械制造及其自动化作者:杨立斌导师:张大卫关键词:微定位平台,超精密磨削,动力学建模,压电陶瓷驱动器,有限...