超精密平台论文

大行程超精密工作台关键技术研究
论文摘要高精度和高分辨率的精密微位移工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。在已研制的超精密工作台中,往往整体性能存在缺陷,对环境的要求严格。因此迫切需...