超精密气浮定位平台论文

超精密气浮定位平台动力学特性优化研究
论文摘要基于静压气浮轴承支承和直线电机驱动技术的超精密气浮定位工作平台,是一种新型的精密运动机构,克服了传统上采用旋转电机和滚珠丝杠驱动方式所造成的传动环节多、响应滞后大以及存...