超精密位移测量论文

基于平面电容传感器的大量程、高精度二维位移直接解耦测量方法和系统研究
论文摘要随着科学技术的迅速发展,精密检测技术得到了越来越广泛的应用。特别是位移检测技术,随着现代工业的发展,逐渐朝着高精度、大量程和多维位移直接测量的方向发展,同时要求检测系统...