超精密运动平台论文

论文题目:三维超精密运动平台性能分析及误差补偿的研究论文类型:硕士论文论文专业:机械工程作者:黄欢导师:吴志军关键词:极微细电火花加工,超精密运动平台,高精度,模态分析,误差补...