超声波键合论文

应用于聚合物微器件封装的超声波键合系统
论文摘要随着MEMS技术的发展,聚合物材料被广泛的运用于微型器件制造。聚合物材料具有生物相容性的优点,而且聚合物种类繁多,价格低廉。聚合物微器件通过微注塑等方法批量生产。目前聚...
微流控芯片超声波键合能量引导微结构设计与工艺
论文摘要当前,聚合物微流控芯片在各种不同的应用领域成功取得了越来越多的认同,例如分析化学、生物学、制药、化学合成系统等。除了功能的改善与提高,这一成功主要归功于微流控芯片制造成...