超声波马达论文

超声波马达的智能控制研究
论文摘要超声波马达，又称超声波电机（UltrasonicMotor，简称USM）采用在超声波范围内的机械振动作为驱动源，是一种新型的转动驱动器，由于它所表现出来的各种优良特性，...
基于双重驱动技术的三维纳米定位系统的研制
论文摘要随着科学技术的发展,航天技术、微电子工程、计量科学与技术、光学与光电子工程、精密工程、生物工程、纳米科学与技术等领域迫切需要纳米定位技术。纳米定位技术己成为前沿科学、工...