超声波微电机论文

超声波微电机的建模仿真及驱动控制系统的设计
论文摘要随着微机电系统的迅速发展,作为微机电系统中关键执行部件的微电机也越来越受到人们的关注。目前已有多种形式的微电机相继问世,主要有静电微电机、电磁微电机和超声波微电机。静电...