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基于二维简正模式MEMS超声分离器的设计与流场仿真研究
论文摘要流体中的声场会对声速和密度不同于流体的悬浮颗粒产生辐射力,控制流体中的辐射力分布能使颗粒移动到特定位置,因此超声波可以作为一种物理方法来分离流体中的悬浮颗粒。由于微机电...